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维萨拉半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量

半导体制造过程中,“干燥”从来不是一个简单的环境条件,而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试,哪怕是极其微量的水分变化,都可能引发一系列问题:测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。


然而,在实际应用中,企业仍然面临诸多挑战:气体管线中的温度波动、复杂的连接结构、低流量环境以及采样过程本身,都可能让露点测量变得“不再可靠”。


在超干燥环境下,露点的微小变化意味着水分含量的巨大差异。例如,在-80°C露点条件下,气体中的水分含量仅为约0.5ppmv,相比普通办公室空气,干燥程度高出数万倍。


在这样的环境中:测量误差不再只是“数值偏差”,而可能直接影响工艺判断与产品质量。尤其是在晶圆探针测试过程中,若露点控制不当,测试腔体极易产生结霜,进而影响测试准确性与设备稳定性。


会议议程

极端干燥条件下露点测量的核心原理

半导体气体系统中的典型挑战

晶圆测试中的露点控制关键点

如何通过优化测量方式提升数据可靠性

快速响应技术在实际应用中的价值


  1. 2026/4/28
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半导体精密分选|高端力控解决方案

产品特性

·用于分选和力控的解决方案;

·采用直驱技术,无背隙;

·有效力控范围在0-100N;

·气浮力控模组阻力小,响应时间短,响应快;

·伺服模组使用带刹车的伺服电机+光栅双反馈,集合了

直线电机和伺服电机各自的优点;

·自行研发的Agito的驱动器,可以实现在没有外界力传感器做反馈的前提下,实现开环的力控。



详情请致电联系021-58595800


  1. 2026/4/2
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芯动现场|雅科贝思亮相SEMICON China

雅科贝思携多款针对半导体行业定制化研发的明星产品及解决方案重磅参展,全面覆盖半导体晶圆处理、先进封装、芯片分选、真空环境、精密检测等核心场景,完美适配AI算力驱动下的高端半导体制造需求,成为展会现场备受关注的核心展商之一。

  1. 2026/4/2
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兰宝企业宣传片

上海兰宝传感科技股份有限公司专业从事工业离散型传感器行业,提供光电/电感/电容/光纤/超声波/激光测量/3D视觉/工业安全等产品及解决方案,产品广泛应用在半导体、3C电子、新能源、汽车制造、智慧物流、工业机器人、电梯、包装、纺织机械等行业。

  1. 2026/3/12
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上海兰宝传感科技股份有限公司企业宣传片

上海兰宝传感科技股份有限公司创立于1998年,是中国领先的工业自动化产品供应商、国家级专精特新小巨人企业,专业从事工业传感技术自主创新、工业传感测控系统与行业解决方案开发,客户遍布于全球120+个国家,致力于为工业智能制造升级赋能,让工业生产更智能、更高效、更清洁、更安全。

兰宝产品涵盖光电/电感/电容/激光/毫米波/超声波类智能传感器、3D激光测量产品、工业视觉产品、工业安全产品、IO-Link与工业物联网产品,广泛应用于半导体、3C电子、光伏、锂电、工业机器人、数控机床、汽车制造、重型机械、轨道交通、海工设备、自动包装、智能物流与仓储、高端纺织、IVD及实验室自动化、数字化工厂等领域。


  1. 2026/2/2
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变革赋能,智造前行:工控网 × 风河开物 工业数字化革命研讨会

我们正站在工业数字化变革的浪潮之巅。人工智能、边缘计算、云原生与数字孪生等技术,正深度重塑智能制造、能源输送、交通运输等关键领域。面对这场变革,企业也迎来新的挑战:如何保障复杂系统在极端环境下的安全可靠?如何实现海量边缘数据的实时洞察与自主决策?又如何构建既智能又安全的下一代工业基础设施?


“变革赋能,智造前行”主题研讨会,由工控网携手风河开物共同呈现,旨在为您系统解答上述核心议题。作为全球关键任务智能系统软件领域的领导者,风河行业专家与资深技术领袖将齐聚一堂,深入分享如何借助前沿的软件定义技术,构建高性能、高可靠、高度自动化的工业系统,赋能企业在数字化竞争中持续领先。

演讲人


谷守建

大客户经理


现任风河开物科技公司大客户经理,25年嵌入式行业经验,熟悉嵌入式操作系统及相关软硬件方案。了解工业控制领域应用方案,包括轨交,半导体,机器人等。



陈延凯

资深现场应用工程师


嵌入式行业从业20多年,基于开物RTOS和开物Hypervisor产品在通信、航空、汽车、医疗、轨道交通、电力、核电等领域有丰富的应用经验。主要负责嵌入式操作性、虚拟化、边缘云相关的系统架构、安全认证、方案设计、内部协调、项目跟着、现场支持等工作。



会议议程

研讨会亮点


前沿技术深度解析:聚焦风河实时操作系统和私有云,阐释如何通过统一云原生平台实现工业系统全生命周期管理。


真实案例实践分享:汲取全球领先制造商与工程巨头的实战经验,了解风河技术在严苛工业场景中的落地成效。


专家面对面交流:与风河技术专家及架构师零距离对话,获取针对性的解决方案与创新思路。




听众收益

洞察趋势:把握工业4.0、IIoT及“软件定义工业”的发展方向与技术路径。


掌握方案:学习运用风河技术应对实时性、功能安全、信息安全与远程管理等核心挑战。


提升效率:了解如何通过集中化平台与自动化运维降低总拥有成本、加速产品上市。


激发创新:获取AI、边缘分析与云原生架构融入工业系统的可行路径与框架。


公司简介

风河开物中国是安波福(瑞士)中国全资子公司。


风河通过提供软件与专业技术,加速各行业的数字化转型,助力从边缘到云端的关键任务智能系统实现开发、部署、运营及维护。


软件定义、人工智能优先的世界正在重塑从航空航天到工业制造,从电信通信到汽车工业的各个市场领域。在这个日益由软件创新驱动的世界里,风河始终是技术领域的开拓者。


  1. 2026/1/27
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IT/OT融合新视角:百通赫思曼为半导体数字化工厂网络解决方案赋能

针对半导体制造行业工艺复杂度高、产线连续性要求严苛、数据交互实时性强、能源消耗巨大等核心痛点,以及智能半导体工厂在全流程自动化管控、生产数据无缝流转、关键业务高可靠运行等方面面临的诸多挑战,百通如何从IT/OT融合的全新视角,依托深耕工业通信领域的技术积淀与半导体行业的丰富实践经验,为半导体工厂量身打造智能、稳定、高可靠的冗余工业网络解决方案,将是本次会议探讨的重点。

演讲人

宋懿-百通赫思曼自动化行业资深专家


深耕工业自动化领域15年,精通工厂自动化、工业互联网及控制技术,深谙半导体、汽车制造、食品饮料、智能物流仓储等垂直行业的业务逻辑与技术痛点。擅长从多维度剖析客户需求,精准定位核心挑战,为客户定制高适配性的最优解决方案。


公司简介

Belden自Joseph C. Belden于1902年在美国芝加哥创立以来,已有123年的历史。Belden提供完整的连接解决方案,为我们的客户、客户的客户和整个世界开启了无限可能。我们推动创新理念和技术发展,以实现更安全、更智能、更繁荣的未来。在我们120多年的历史中,公司不断发展壮大,但我们的宗旨始终如一——建立连接。通过连接人、信息和思想,我们让一切成为可能。我们的总部位于圣路易斯,并在北美、欧洲、亚洲和非洲拥有制造能力。


  1. 2025/12/29
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维萨拉 客户案例分享:如何打造更节能、更智能的洁净室?

半导体、生命科学、精密制造等行业加速扩张的今天,洁净室已经成为关键生产能力的核心。但与此同时,企业也正在面对新一轮的挑战:更严格的ISO 标准、更复杂的生产工艺、更高的能源成本,以及愈发明确的可持续发展压力。洁净室作为“能耗大户”,在空气换气量、温湿度控制、压差维持等方面有着天然的高能耗结构,如果缺乏合理设计与精准测量,其运营成本会在设备投运后持续抬升。


在这样的行业背景下,我们越来越常被问到同一个问题:如何在确保洁净度、稳定性与合规性的前提下,让洁净室真正做到节能、智能、可持续?


本期在线研讨会,我们将通过芬兰知名工程咨询公司 Granlund 的真实项目案例,带您了解一个优秀洁净室背后的设计逻辑——为什么有些洁净室能耗稳定可控,而有些在投入运行后却问题不断?关键差异往往并不在设备多昂贵,而在于测量与控制是否真正被纳入设计的核心。

演讲人


刘红霞

维萨拉工业测量部售前支持经理




王莹杰

维萨拉工业测量部售前支持工程师



会议议程

什么是洁净室?为什么其设计基础变得日益重要?

ISO 和 GMP 标准如何影响可持续设计决策

优化气流、压差和室内条件的应用案例

验证性监测如何支持法规合规和能源效率

精准 HVAC 测量在长期性能和节能中的作用


  1. 2025/12/19
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控制柜可靠供电:覆盖多元场景,聚焦复杂环境

控制系统中可靠供电的重要性越来越高!此次圆桌对话围绕“数据中心、半导体、储能、锂电”四个风口行业的发展趋势和系统供电的应用需求展开,菲尼克斯电气产品经理与各行业专家一起基于多元场景的复杂环境要求和痛点,针对保护、供电、测量等应用领域,共同探讨高可靠性供电方案的应对之道。

  1. 2025/10/16
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维萨拉 半导体制造设备工艺环境的测量解决方案

工业现场因涉及易燃易爆物质、高压设备等,安全风险始终存在,而防爆黑科技正成为化解风险的关键。这些技术涵盖防爆设备升级、智能环境监测、实时风险预警等多个维度,如同为工业现场量身打造的 “金钟罩”,从源头遏制隐患、在过程中精准防控,全方位筑牢安全防线。


会议议程

工业环境安全隐患解析与防爆需求紧迫性

防爆领域市场痛点深度剖析:需求与现状的矛盾聚焦

防爆产品矩阵全景展示:技术亮点与多场景适配方案

实战案例现场解析:典型场景防爆解决方案与成效验证


  1. 2025/8/29
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