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维萨拉半导体干燥气体与晶圆测试中的露点测量

在半导体制造过程中,“干燥”从来不是一个简单的环境条件,而是决定良率与稳定性的关键变量。从气体输送到晶圆探针测试,哪怕是极其微量的水分变化,都可能引发一系列问题:测试腔体结霜、测量误差增加、工艺波动甚至设备停机。


然而,在实际应用中,企业仍然面临诸多挑战:气体管线中的温度波动、复杂的连接结构、低流量环境以及采样过程本身,都可能让露点测量变得“不再可靠”。


在超干燥环境下,露点的微小变化意味着水分含量的巨大差异。例如,在-80°C露点条件下,气体中的水分含量仅为约0.5ppmv,相比普通办公室空气,干燥程度高出数万倍。


在这样的环境中:测量误差不再只是“数值偏差”,而可能直接影响工艺判断与产品质量。尤其是在晶圆探针测试过程中,若露点控制不当,测试腔体极易产生结霜,进而影响测试准确性与设备稳定性。


会议议程

极端干燥条件下露点测量的核心原理

半导体气体系统中的典型挑战

晶圆测试中的露点控制关键点

如何通过优化测量方式提升数据可靠性

快速响应技术在实际应用中的价值


  1. 2026/4/28
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福禄克 工业以太网与现场总线常见故障诊断与测试解决方案

本次直播会议将聚焦于工业以太网和现场总线的线缆测试技术,深入探讨常见的线缆故障类型、诊断方法以及高效的解决方案。在工业自动化系统中,稳定的通信链路是保障生产连续性的关键,而线缆问题往往是导致通信故障的主要原因。通过本次会议,您将全面了解如何通过科学的测试方法预防和解决这些问题。

演讲人


魏斌

福禄克网络技术专家


超过15年的IT行业技术背景及丰富的实践经验


全国信息技术标准化技术委员会成员


工业行业国标和行业标准参编人员


多次参与制定和编写国家相关行业技术标准和规范



会议议程

工业网络线缆故障类型与影响分析

线缆测试方法与标准

应用与实战案例分享

预防性维护方案


  1. 2025/11/26
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福禄克 台式数字多用表在智能产品产线的测试应用

会议简介

1.智能产品产线的测试需求介绍


2.8808A五位半数字多用表介绍


3.数字多用表在智能产品产线的应用

董文祺


福禄克计量校准部应用工程师


  1. 2025/11/19
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  1. 2025/11/14
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福禄克 工业中常用电测仪表的校准

会议介绍

1. 工业中常用电测仪表的基础知识介绍

2. 工业中常用电测仪表的校准方案分享

3. 工业中常用电测仪表的校准实操演示


  1. 2025/7/24
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上海国际汽车制造技术与装备及材料展览会现场直播

作为专业的汽车技术与工程行业盛会,AMTS2025第二十届上海国际汽车制造技术与装备及材料展览会将聚焦汽车研发、设计与制造的每一环,一站式展示汽车车身冲压、焊装与连接、涂装、整车总装、零部件机加、装配及测试、整车材料与设计、开发与试制、智能产线物流、质量控制及测试等技术及工程领域创新应用,同时紧跟新能源汽车的发展趋势,重点展示新能源汽车创新设计与制造工艺汇聚前沿汽车科技,通过全新联接平台,贯穿线上、线下全媒体渠道,在全年周期,为海内外汽车技术与工程领域系统集成商、一二级供应商、整车及零部件研发与制造工程人员搭建一站式交流平台。

  1. 2025/7/10
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福禄克 工业以太网通信“疑难杂症”大排查——一线工程师实战指南

工业以太网通信“痛点”解析:深入剖析工业现场常见的通信故障,如网络延迟、丢包、连接中断等,并结合实际案例讲解其背后的原因。


“对症下药”:故障排查与解决:手把手教你使用常用工具和方法,快速定位故障点,并提供有效的解决方案。


“防患未然”:网络优化与维护:分享工业以太网网络优化技巧,以及日常维护的注意事项,帮助您构建稳定可靠的工业网络环境。

嘉宾:尹岗-福禄克公司技术专家

全国信息技术标准化技术委员会信息技术设备互联分委会成员、中国工程建设标准化协会信息通信专业委员会综合布线工作组、数据中心工作组专家成员,一直以来都参与国家相关技术标准的制定和编写工作,参与制定和编写国家相关行业技术标准和规范尹先生也是世界技能大赛的网络综合布线等相关赛事的主要专家成员之一,参与设计比赛内容及技术规范。职业生涯中长期为高可靠性用户提供高品质质控技术咨询、现场疑难故障诊断和整改方案、高品质产品生产/设计和改进指导意见等。


  1. 2025/3/7
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福禄克 台式万用表和数据采集器在生产制造业应用的区别和选择

1.制造业测量应用的需求分析


2.制造业常用测量设备的选择


3.台式万用表和数据采集器的应用


董文祺


福禄克计量校准部应用工程师


  1. 2025/2/19
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烟气分析与红外成像技术:助力高耗能行业节能减排与安全运行

Emission 部分主题: 烟气分析仪助力工业废气排放精确监测&温室气体监测


德图仪器简介


工业烟气测量目的


工业烟气测量工况介绍


基于不同复杂工况下的烟气测量产品的设计思路和解决方案


碳排放监测产品和原理介绍


德图排放产品线简介


TI 部分主题:红外热像仪在高耗能及高校中的应用


红外原理


红外热像仪在高耗能行业中的典型应用


红外热像仪在高校科研中的典型应用


如何选择一款合适的红外热像仪


德图热像仪介绍

演讲人


武锐

德图仪器资深产品应用专家


资深应用专家,具有丰富的烟气测量经验。任职德图超过10年,熟悉环监测量标准和技术,多次参与总站牵头的标准建设现场的测量任务。




韩贵明

德图仪器红外产品线产品经理


他负责从市场调研到产品上市的全流程管理,包括需求分析、测试和市场推广等方面。凭借深厚的技术背景和丰富的行业经验,致力于优化红外热像仪的性能和用户体验,推动了多个创新项目的成功推出。注重与客户的沟通,积极反馈市场需求,确保产品在竞争激烈的市场中保持领先地位。

公司简介

德图仪器,总部位于德国南部的黑森林,是高精度测量技术和创新测量解决方案的提供者。目前德图在全球拥有34家子公司、约3800名员工致力于产品研发、生产和营销。德图产品、解决方案和服务帮助您节省时间和资源、保护环境和人类健康以及提高您的产品质量。


自1957年成立以来,德图集团每年以高于10%的速度保持增长,当前年销售额已过2.5亿欧元,它是黑森林的智慧运作与高科技体系的完美结晶。高于平均水平的投资为公司的可持续发展铺平了道路,德图集团坚持将每年销售额的10%用于产品研发。


  1. 2024/11/28
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福禄克 如何使用锁相电流源提高电池内阻测试仪校准能力

会议简介

1、电池内阻测试仪基础知识介绍


2、电池内阻测试仪校准规范介绍


3、电池内阻测试仪现行校准方法解析


4、使用锁相电流源如何提高校准能力

施冉


福禄克计量校准部高级工程师


国家一级注册计量师

>>如何使用锁相电流源提高电池内阻测试仪校准能力

>>主要内容-电池内阻测试仪基础知识介绍

>>锂电池行业

>>电池内阻

>>电池内阻测试的重要性

>>电池内阻测试

>>电池内阻测试仪用途

>>主要内容-电池内阻测试仪校准规范介绍

>>电池内阻测试仪校准规范

>>电池内阻测试仪校准规范(范围、引用文件)

>>电池内阻测试仪校准规范(术语和计量单位、环境条件)

>>电池内阻测试仪校准规范(测量标准及其他设备)

>>电池内阻测试仪校准规范(校准项目)

>>电池内阻测试仪校准规范(校准过程)

>>电池内阻测试仪校准规范(校准过程)

>>电池内阻测试仪校准规范(校准结果表达、复校时间间隔)

>>主要内容-电池内阻测试仪现行校准方法解析

>>福禄克电池内阻测试仪指标

>>直流电压测量功能校准-福禄克解决方案

>>新一代多产品校准器直流电压功能指标

>>当前常见电池内阻测量功能校准方法

>>电池内阻测试仪电池内阻测量功能校准(证书)

>>当前所用AC/DC标准电阻

>>当前所用AC/DC标准电阻

>>当前电池内阻测量功能校准方法存在的问题

>>主要内容-如何使用锁相电流源提高电池内阻校准能力

>>电池内阻测量功能福禄克专利校准方法

>>电池内阻测量功能福禄克专利校准方法

>>电池内阻测量功能福禄克专利校准方法

>>本方法使用要点

>>高精度锁相电流源5730A

>>锁相

>>标准数字多用表8588A

>>精密分流器A40B

>>福禄克专利方法演示视频

>>福禄克专利方法不确定度来源

>>高精度锁相电流源5730A,锁相相位指标

>>高精度锁相电流源5730A输出ACI指标

>>标准数字多用表ACI测量指标

>>精密分流器A40B阻值年稳定度

>>精密分流器A40B相移指标

>>福禄克专利方法不确定度来源,优势

>>为什么不能用55XXA?


  1. 2024/9/27
  2. 人气(2712)
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